werden hat zwei verschiedene Formen des Partizip Perfekt (Partizip II): geworden und worden. Wie schon angemerkt wurde, wird worden als Partizip nur im Passiv verwendet. Dies schreibt auch die David Vogt im Kommentar verlinkte Sütterlin-Grammatik. Das Wiktionary schreibt etwas vager, dass die Hauptaussage im flektierten Verb ist, wenn worden verwendet wird.
Beispiele dafür sind:
Ich bin angefahren worden.
Das Essen ist aufgegessen worden.
Der Knabe ist beschnitten worden.
Sie war verwundet worden.
In allen diesen Fällen wäre die Verwendung des Partizips geworden ungrammatisch. In aktivischen Konstruktionen muss hingegen geworden verwendet werden:
Wir sind über Nacht reich geworden.
Ich bin erst im Alter so richtig glücklich und zufrieden geworden.
Hier wäre die Verwendung von worden falsch.
Im zitierten Beispiel aus dem Nietzsche-Text ist sicher strittig, ob es sich um eine Passivkonstruktion handelt. Möglicherweise will Nietzsche gerade ausdrücken, dass er den Akt der Bewusstseinswerdung als passiven Vorgang versteht. Möglicherweise war dies auch das zu seiner Zeit vorherrschende Konzept. Diese Frage zu beantworten würde eine Analyse des Kontexts, also des gesamten Textes und vielleicht auch des philosophischen Gesamtwerks Nietzsches erfordern, die den Rahmen dieses Forums sprengen würde.
Generell gibt es analoge Konstruktionen mit einigen Verben, in denen die Verwendung von worden nicht mehr üblich ist, früher aber üblich war. Mir ist nicht klar, ob das daran liegt, dass diese Verben früher als passiv aufgefasst wurden, oder ob sich die heute zu diagnostizierende Regel, dass worden nur in Passiv-Konstruktionen das Partizip Perfekt geworden ersetzt, erst später etabliert bzw. durchgesetzt hat.
Ein Beispiel hierfür ist inne werden:
Ich bin mir meiner selbst inne worden. / Ich bin mir meiner selbst inne geworden.